Comprehensive reliability analysis of CoWP metal Cap unit processes for high volume production in sub-μm dimensions

verfasst von

O. Aubel, S. Thierbach, R. Seidel, B. Freudenberg, M. A. Meyer, F. Feustel, J. Poppe, M. Nopper, A. Preusse, C. Zistl, K. Weide-Zaage

Organisationseinheit(en)

Fachgebiet Architekturen und Systeme

Externe Organisation(en)

Global Foundries, Inc.

Typ

Aufsatz in Konferenzband

Seiten

675-676

Anzahl der Seiten

2

Publikationsdatum

2008

Publikationsstatus

Veröffentlicht

Peer-reviewed

Ja

ASJC Scopus Sachgebiete

Allgemeiner Maschinenbau

Elektronische Version(en)

https://doi.org/10.1109/RELPHY.2008.4558983 (Zugang: Unbekannt)